沈阳芯源微电子设备股份有限公司成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业，专业从事半导体专用设备的研发、生产、销售与服务，致力于为客户提供半导体装备与工艺整体解决方案。

芯源微总部位于沈阳市浑南区，并在上海、日本设有全资子公司。公司总部占地4万平米，拥有专业的集成电路工艺开发、检测实验室，以及半导体设备生产组装车间。

公司通过多年技术积累、创新提升，形成自主知识产权体系，已拥有授权专利245项，其中发明专利171项。芯源微作为国内领先的高端半导体装备制造企业，所开发的涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机等产品广泛应用于IC制造、高端封装、MEMS、LED、OLED、化合物半导体等领域。

2019年12月16日，芯源微在上交所科创板上市，成为 辽宁省科创板第一股  、半导体光刻设备 第一股 、中科院参股企业科创板 第一股 ，总市值约两百四十亿元，拥有员工近1000人。2022年公司营业总收入13.85亿，同比增长67%，处于高速发展时期。借力资本市场，公司将加速提升技术的创新能力和产品成套能力，以先进可靠的产品和优质的服务赢得客户信赖，成为全球半导体设备领先企业，助推产业技术进步。